日本源头供应 HORIBA 崛场 光掩模 ReticleMask颗粒探测系统 PR-PD3
2024-05-20 17:41:20
公司主要生产和销售汽车排放测量系统、环境测量仪器、种类齐全的科学分析仪、医疗诊断分析仪和半导体行业使用的测 量设备等。
堀场还生产和销售外围测量与分析设备。此外，公司还可为实验室等机构提供用于研发、生产和其他应用的测 量与分析设备。
业务内容
车：为提高车辆测试效率和加快开发提供有力支持
环境/过程：为全球环境保护以及生产和质量控制过程中测量技术的发展做出贡献
医疗用途：提供实验室检测设备支持人们的健康生活
半导体：通过流量控制和测量技术，为半导体制造工艺的良率提高和技术创新做出贡献
科学：为从分析实验室到生产现场的尖端材料研究做出贡献
水/液体：为所有类型的水和液体的研究和管理做出贡献，包括环境水、半导体化学品和生物体。
活力：通过全球网络×测量技术×工程，为2050年实现碳中和社会做出贡献
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HORIBA 堀场 水质计D-200系列 D-210P-S(pH/ORP) D-210D-S(DO) D-210PC-S(pH/ORP) D-210PD-S(pH/COND/DO)
D-220P-S(pH) D-220C-S(COND) D-220D-S(DO) D-220PC-S(pH/COND) D-220PD-S(pH/DO)
多合一案例。携带手提箱可轻松直接前往现场！坚固的机身非常适合现场。防水防尘结构！防刮屏幕。
标准配备背光功能！防震且易于握持。操作直观。易于理解的指示器！9个按钮操作简单！单手即可轻松操作！配有电极支架。配备支架。
规格
电源 2节AA碱性电池（也可使用镍氢充电电池）
能量消耗 电池电压3V 5mA以下（待机）
展示 带背光的单色定制液晶显示屏
温度 测量方法：热敏电阻法。测量/显示范围：-30.0~130.0°C/-22.0~266.0°F。
显示分辨率：0.1℃/°F。准确度（仪器重复性）：±0.5°C/±0.9°F。
功能 稳定性判断功能：自动保持、自动稳定、瞬时值
防尘防水性能相当于IP67
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PH计 pH-33B / 9625-10D / pH-11B / pH-22B
一款紧凑型 pH 计，只需一滴 (0.1mL ~) 样品即可对酸度和碱度进行数值测量。
虽然它很小，但它采用了与实验室使用相同的玻璃电极和温度补偿功能。
LAQUAtwin独特的平面传感器只需掉落即可进行测量，因此不需要烧杯，也可以直接放置在河流等中并舀出进行测量。
规格
目的热带鱼养殖水体、河流、湖泊、温泉、废水、土壤、发酵、酿造、化学、医药、学校教育等。
测量范围pH0～14 质量（克）约50个（不含电池）
工作温度范围（℃）5～40 外形尺寸（毫米）164×29×20（不含突出部分）
电源2 节纽扣型锂电池 3V (CR2032)
测量项目酸碱度
显示方式定制（单色）数字液晶显示屏
工作湿度范围相对湿度85%以下（无凝露）
电池寿命（小时）连续使用约400次（背光关闭时）
测量原理 玻璃电极法
样品体积（毫升）0.1以上
主要成分ABS树脂
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.光掩模(Reticle/Mask)颗粒探测系统 PR-PD3
外形小巧、运营成本低、应用范围广
概要
HORIBA的PD系列产品运转效率高，具有长期稳定性，受到众多半导体制造工厂的高度评价。继承了各个结构简单、长期稳定运转的搬运系统，高通过量、可靠性高的光学系统，以及具有防误测功能等高性能设备并巧妙组合成一个整体的产品就是PR-PD3。和以往的机型(PR-PD2)相比，它的外形尺寸小了约1/2，追求低运营成本。检测灵敏度达到0.5µm，具有广泛通用性。诞生了可以用来满足光掩模(reticle/mask)上异物检测这一广泛需求的简便装置。
特点
●和以往机型相比，设计小了1/2左右。
和PR-PD2相比较，底面面积小了1/2，实现了小巧化。由于占地面积大幅变小，所以即使添加操作装置(可选件)，也可以自由地进行布局。
●实现了低运营成本。
采用激光中具有超群经济性的氦氖激光，同时，采用了结构简单的载物台搬运系统等，大幅度地降低了维护运营成本。
●有效的防误测措施。
搭载有粗图案用的偏振差动和细微图案用的低通差动这二个功能。通过同时使用这二种方法，可以有效地防止OPC等具有两种特性的图案误检测。 光掩模(Reticle/Mask)颗粒探测系统
PR-PD3
规格 检测对象
有(无)表膜光掩模(reticle/mask)上的微粒子
测量原理
激光散射方式
可次粒径
约7分钟/2个面(在5英寸Reticle) 2个面检测(5英寸)从开始检测到显示数据约为7分钟
※还可配有玻璃/表膜专用高速模式(约4分钟/2个面)
灵敏度
图案(Pattern)面：0.5µm、玻璃(Glass)面：5.0µm、表膜面(Pellicle)：10.0µm(※PSL相当)
光掩模盒 (请在订货时进行指定)
制曝光装置盒(5、6英寸用) (标准配置：对应一种尺寸的Reticle)
※如需多盒处理，请另行协商。
测量结果
对应数据显示于平面显示器
外观尺寸
约900(W)×1350(D)×1590(H) mm
※上述是设定标准尺寸。不同的分类器规格，尺寸大小有时也会不同
设备 安装地点
从等级100以上的洁净室或净化台
温度
23±1℃
电源
AC100¿230V，7.5¿15A，50/60Hz
真空源
压力差8.0x104Pa以上、流量50L/min
外形尺寸图 (单位：mm)
历史发展
1945-1960年代为研发型公司奠定基础
1945 年 10 月成立“堀场无线研究所”
1950年3月完成国内第一台玻璃电极pH计的国产化。
1953年1月成立“株式会社堀场”
1957年开始销售红外线气体分析仪“GA型”
1957年红外气体分析技术的兴起
1959 年 11 月与日立建立业务和技术联盟。
1964年在测量工业展览会（大阪）上展示汽车尾气测量设备作为参考。全球汽车尾气品牌“MEXA”诞生
1964年开始生产用于空气污染监测的二氧化碳测量仪“APPA-1”。
1969年介绍 HORIBA 历史上的热门产品 MEXA-200 CO 测量仪
1970年与美国 Olson Laboratories, Inc. 合并成立 Olson Horiba。全面启动海外扩张
1971 年 3 月在大阪证券交易所和京都证券交易所上市。
1972年在美国、德国设立子公司
1974年确立标准技术（现HORIBA STEC）
1975年向美国EPA（环境保护局）交付汽车尾气测量系统。“MEXA”成为全球标准
1975年成立Kos（现为“Horiba Advanced Techno”）
1976年能量色散X射线分析仪的研制
1978年确立了“有趣、有趣”的公司座右铭
1978年成立专门从事员工福利的公司“Horiba Community”。
1980年标准科技推出质量流量控制器。进军半导体领域
1982年HORIBA产品陈列室“分析中心”开业。更贴近客户
1982年9月在东京和大阪证券交易所第一部上市。
1984年开始生产光罩异物检查设备。全面进军半导体领域
1985年4月在新加坡设立销售办事处
1986年4月首家为部分企业实行三天工作制的上市公司
1987年成功开发世界第一台平板传感器卡式pH计“CARDI”
1987年3月与法国专门生产血细胞计数器的制造商ABX合作。医疗事业如火如荼
1987年10月与西德 Feuser AG 在汽车废气测量系统方面建立业务合作伙伴关系。
1988年开始建立“堀场身份”的ID活动。打造HORIBA品牌的第一步
1988年3月与美国Mydac就傅里叶变换红外分光光度计进行技术合作
1988年在奥地利成立“Horiba Austria”
1988年12月在韩国设立当地生产基地“Horiba Korea Co., Ltd.”。
20世纪90年代第二次创立和全球管理
2000年代“一家公司”集团团结一致，走向世界
2010年2月堀场敦荣获法国“荣誉军团勋章”。
2020年8月与岛津制作所合作开发并销售测量设备“LC Raman”
签订基本协议，开始合作开发和销售结合了岛津制作所的高性能液相色谱仪 (HPLC) 和堀场制作所的拉曼光谱仪的测量设备
