日本源头供应 HORIBA 崛场 光纤式药液浓度计 CS-100F1
2024-05-20 17:43:06
公司主要生产和销售汽车排放测量系统、环境测量仪器、种类齐全的科学分析仪、医疗诊断分析仪和半导体行业使用的测 量设备等。
堀场还生产和销售外围测量与分析设备。此外，公司还可为实验室等机构提供用于研发、生产和其他应用的测 量与分析设备。
业务内容
车：为提高车辆测试效率和加快开发提供有力支持
环境/过程：为全球环境保护以及生产和质量控制过程中测量技术的发展做出贡献
医疗用途：提供实验室检测设备支持人们的健康生活
半导体：通过流量控制和测量技术，为半导体制造工艺的良率提高和技术创新做出贡献
科学：为从分析实验室到生产现场的尖端材料研究做出贡献
水/液体：为所有类型的水和液体的研究和管理做出贡献，包括环境水、半导体化学品和生物体。
活力：通过全球网络×测量技术×工程，为2050年实现碳中和社会做出贡献
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HORIBA 堀场 水质计D-200系列 D-210P-S(pH/ORP) D-210D-S(DO) D-210PC-S(pH/ORP) D-210PD-S(pH/COND/DO)
D-220P-S(pH) D-220C-S(COND) D-220D-S(DO) D-220PC-S(pH/COND) D-220PD-S(pH/DO)
多合一案例。携带手提箱可轻松直接前往现场！坚固的机身非常适合现场。防水防尘结构！防刮屏幕。
标准配备背光功能！防震且易于握持。操作直观。易于理解的指示器！9个按钮操作简单！单手即可轻松操作！配有电极支架。配备支架。
规格
电源 2节AA碱性电池（也可使用镍氢充电电池）
能量消耗 电池电压3V 5mA以下（待机）
展示 带背光的单色定制液晶显示屏
温度 测量方法：热敏电阻法。测量/显示范围：-30.0~130.0°C/-22.0~266.0°F。
显示分辨率：0.1℃/°F。准确度（仪器重复性）：±0.5°C/±0.9°F。
功能 稳定性判断功能：自动保持、自动稳定、瞬时值
防尘防水性能相当于IP67
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PH计 pH-33B / 9625-10D / pH-11B / pH-22B
一款紧凑型 pH 计，只需一滴 (0.1mL ~) 样品即可对酸度和碱度进行数值测量。
虽然它很小，但它采用了与实验室使用相同的玻璃电极和温度补偿功能。
LAQUAtwin独特的平面传感器只需掉落即可进行测量，因此不需要烧杯，也可以直接放置在河流等中并舀出进行测量。
规格
目的热带鱼养殖水体、河流、湖泊、温泉、废水、土壤、发酵、酿造、化学、医药、学校教育等。
测量范围pH0～14 质量（克）约50个（不含电池）
工作温度范围（℃）5～40 外形尺寸（毫米）164×29×20（不含突出部分）
电源2 节纽扣型锂电池 3V (CR2032)
测量项目酸碱度
显示方式定制（单色）数字液晶显示屏
工作湿度范围相对湿度85%以下（无凝露）
电池寿命（小时）连续使用约400次（背光关闭时）
测量原理 玻璃电极法
样品体积（毫升）0.1以上
主要成分ABS树脂
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.光纤式药液浓度计 CS-100F1系列
在线多样监测！！
适用于使用批次式、单槽、单晶圆各方式的清洗装置。
概要
HORIBA药液浓度计CS-100F1系列是针对在半导体制造中的清洗及蚀刻工艺中所使用的各种药液进行高精度浓度监测的设备。
它通过利用光纤传播光信号，把样品单元直接组装到清洗装置配管上，实现实时在线测量。 同时，1台单一的浓度计最多可以测量4种药液或量程，在单槽/单晶圆清洗系统中进行单线监测成为了可能。此外，测量单元型产品适用于更高精度需求应用的浓度反馈控制。
特点
●利用1台浓度计最大可以监测4种(药液或量程)的多样监测。
●实时浓度监测。测量单元型产品适用于更高精度需求应用的浓度反馈控制。
●监测周期大约3秒，300mm工艺的浓度管理。
●通过完全分离电气部分和测量部分以提高稳定性。
●轻便小巧的设计有利于节省清洗装置的空间。
●通过减少清洗工艺中的批次不良以提高产量
光纤式药液浓度计
CS-100F1系列
规格
型号 CS-151F1 CS-152F1 CS-150F1 测量对象 SC-1
(氨/过氧化氢水溶液) SC-2
(盐酸/过氧化氢水溶液) SPM
(硫酸/过氧化氢水溶液) 1台最多可进行4种药液或量程测量的多样监测。 测量原理 吸收光谱测定法 浓度计算原理 温度补偿型多变量解析法 量程 NH3：0.00%¿1.00%
H2O2：0.00%¿5.00%
H2O：94.0%¿100.0% HCl：0.00%¿2.00%
H2O2：0.00%¿2.00%
H2O：96.0%¿100.0% H2SO4：70.0%¿96.0%
H2O2：0.00%¿10.00%
H2O：4.0%¿30.0% 再现性精度(质量%) (室温变化±1℃以内) NH3：±0.15%
H2O2：±0.30%
H2O：±1.5% HCI：±0.15%
H2O2：±0.15 %
H2O：±1.5% H2SO4：±0.50%
H2O2：±0.50%
H2O：±1.5% 样品温度 20¿80℃(使用在线检测单元)
20¿30℃(使用检测单元装置) 测量周期 约3秒 LCD显示以及输入内容 ¿第一成分 浓度测量值(%)
¿第二成分 浓度测量值(%)
¿第三成分 浓度测量值(%)
¿第一和第二成分； 浓度报警状态 ¿错误代码
¿并行浓度报警输出无效状态
¿串行/并行状态
¿背底补偿信息 串行输入
RS-232C ¿串行/并行状态转换
¿检测数据传送要求
¿第一、二成分浓度警报值的设定 ¿并行浓度警报输出状态(有效/无效)
¿检测对象药液转换 并行输入 DC12¿30V(光耦合器绝缘) ¿并行浓度报警输出
¿测量对象药液转换
¿背景值校正 并行输出 打开控制器输出(光耦合器绝缘)
ON时的最大电流：DC5mA(无内部保护电阻)
OFF时最大引火电压：DC30V ¿第一成分浓度报警4种
¿第二成分浓度报警4种
¿装置异常
¿测量中
¿检测对象药液种类
¿背景值校正状态 药液温度输入 接头排连接(接线柱螺丝M3)
¿白金测温电阻传感器：Pt100(请客户自己准备Pt传感器。) 模拟输出 ¿第一成分浓度报警4种：4¿20mA
¿第二成分浓度报警4种：4¿20mA
※也适用于其它量程。订货时请指定。 光纤 CS-100F1系列专用光纤(安装温度25±15℃) 样品检测单元 可适用于各种药液的专用样品检测单元(在线检测单元、检测单元装置)。 电源 AC 100V¿230V(单相)±10%、50/60Hz、約100VA 外形尺寸 205(W)×329(D)×269(H)mm(突起部除外) 重量 大约11kg
外形尺寸图(单位：mm)
浓度计
在线检测单元
检测单元装置
光纤式药液浓度计
CS-100F1系列
主要特点
●利用1台浓度计最大可以监测4种(药液或量程)的多样监测。
1台浓度计中最多可存储4种校正系数(药液或量程)，可监测单槽或单晶圆等批次清洗方式的清洗装置1种以上药液(或者不同的药液配比)浓度。
●实时浓度监测。测量单元型产品适用于更高精度需求应用的浓度反馈控制。 通过使用可直接组装在清洗装置主配管中的在线检测单元，实现了实时的浓度监测。为了强调稳定性，也可使用检测单元装置型的浓度计，以进行反馈控制。可以保持在药液浓度值的允许范围内，同时也可以避免不必要的药液更换工作。
●监测周期大约3秒，300mm工艺的浓度管理。
以大约3秒这样短的测量周期实现了高速响应性。支持多槽、单槽¿单晶圆方式清洗装置的精确浓度管理。
●通过完全分离电气部分和测量部分以提高稳定性。
使用光纤传输光源信号确保了了浓度计和检测单元的完全分离。由于可以把浓度计设置在药液气体以外，所以不需要担心腐蚀等现象。
●轻便小巧的设计有利于节省清洗装置的空间。
由于底面面积只有本公司原来产品的2/3左右，这种小巧化设计有利于清洗装置节省空间。可以很容易地组装到清洗装置中。除此以外，由于重量较轻，所以也可以设置在清洗装置的上面。
●通过减少清洗工艺中的批次不良以提高产量。
通过使用监测输出，进行各成分药液的补给控制，从而实现了高再现性的清洗。减少清洗工艺中的批次不良，从而有利于提高提高产量。
在线在线检测单元型 检测单元装置型 通过使用可直接组装在清洗装置主配管中的在线检测单元，实现了实时的浓度监测。
为了强调稳定性，也可使用检测单元装置型的浓度计，以进行反馈控制。可以保持在药液浓度值的允许范围内，同时也可以避免不必要的药液更换工作。
光纤式药液浓度计 CS-100F1系列
关联产品
样品测量单元内置型的浓度计
支持各种药液监测的、样品测量单元内置型的药液浓度计。由于清洗装置和浓度计相互分离，容易脱卸，所以也适用于滞后安装。由于装置内有药液，所以使用具备安全性的DC 24V电源。
CS-100系列
SC-1浓度计/CS-131 SC-2浓度计/CS-152 SPM浓度计/CS-150 BHF浓度计/CS-137
关于上述以外的药液种类浓度计，请另行咨询协商。
氢酸浓度监测计
CM-200/210
可以很容易组装到装置中的DIN96尺寸大小的高精度氢氟酸浓度计。从低浓度到高浓度、实现了宽广领域中的高再现性，可以实时显示氢氟酸浓度。我们根据用途，准备了流通型和沉浸型传感器。
历史发展
1945-1960年代为研发型公司奠定基础
1945 年 10 月成立“堀场无线研究所”
1950年3月完成国内第一台玻璃电极pH计的国产化。
1953年1月成立“株式会社堀场”
1957年开始销售红外线气体分析仪“GA型”
1957年红外气体分析技术的兴起
1959 年 11 月与日立建立业务和技术联盟。
1964年在测量工业展览会（大阪）上展示汽车尾气测量设备作为参考。全球汽车尾气品牌“MEXA”诞生
1964年开始生产用于空气污染监测的二氧化碳测量仪“APPA-1”。
1969年介绍 HORIBA 历史上的热门产品 MEXA-200 CO 测量仪
1970年与美国 Olson Laboratories, Inc. 合并成立 Olson Horiba。全面启动海外扩张
1971 年 3 月在大阪证券交易所和京都证券交易所上市。
1972年在美国、德国设立子公司
1974年确立标准技术（现HORIBA STEC）
1975年向美国EPA（环境保护局）交付汽车尾气测量系统。“MEXA”成为全球标准
1975年成立Kos（现为“Horiba Advanced Techno”）
1976年能量色散X射线分析仪的研制
1978年确立了“有趣、有趣”的公司座右铭
1978年成立专门从事员工福利的公司“Horiba Community”。
1980年标准科技推出质量流量控制器。进军半导体领域
1982年HORIBA产品陈列室“分析中心”开业。更贴近客户
1982年9月在东京和大阪证券交易所第一部上市。
1984年开始生产光罩异物检查设备。全面进军半导体领域
1985年4月在新加坡设立销售办事处
1986年4月首家为部分企业实行三天工作制的上市公司
1987年成功开发世界第一台平板传感器卡式pH计“CARDI”
1987年3月与法国专门生产血细胞计数器的制造商ABX合作。医疗事业如火如荼
1987年10月与西德 Feuser AG 在汽车废气测量系统方面建立业务合作伙伴关系。
1988年开始建立“堀场身份”的ID活动。打造HORIBA品牌的第一步
1988年3月与美国Mydac就傅里叶变换红外分光光度计进行技术合作
1988年在奥地利成立“Horiba Austria”
1988年12月在韩国设立当地生产基地“Horiba Korea Co., Ltd.”。
20世纪90年代第二次创立和全球管理
2000年代“一家公司”集团团结一致，走向世界
2010年2月堀场敦荣获法国“荣誉军团勋章”。
2020年8月与岛津制作所合作开发并销售测量设备“LC Raman”
签订基本协议，开始合作开发和销售结合了岛津制作所的高性能液相色谱仪 (HPLC) 和堀场制作所的拉曼光谱仪的测量设备
