日本源头供应 HORIBA 崛场 光掩模 ReticleMask颗粒探测系统 PR-PD2
2024-05-20 17:43:09
公司主要生产和销售汽车排放测量系统、环境测量仪器、种类齐全的科学分析仪、医疗诊断分析仪和半导体行业使用的测 量设备等。
堀场还生产和销售外围测量与分析设备。此外，公司还可为实验室等机构提供用于研发、生产和其他应用的测 量与分析设备。
业务内容
车：为提高车辆测试效率和加快开发提供有力支持
环境/过程：为全球环境保护以及生产和质量控制过程中测量技术的发展做出贡献
医疗用途：提供实验室检测设备支持人们的健康生活
半导体：通过流量控制和测量技术，为半导体制造工艺的良率提高和技术创新做出贡献
科学：为从分析实验室到生产现场的尖端材料研究做出贡献
水/液体：为所有类型的水和液体的研究和管理做出贡献，包括环境水、半导体化学品和生物体。
活力：通过全球网络×测量技术×工程，为2050年实现碳中和社会做出贡献
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HORIBA 堀场 水质计D-200系列 D-210P-S(pH/ORP) D-210D-S(DO) D-210PC-S(pH/ORP) D-210PD-S(pH/COND/DO)
D-220P-S(pH) D-220C-S(COND) D-220D-S(DO) D-220PC-S(pH/COND) D-220PD-S(pH/DO)
多合一案例。携带手提箱可轻松直接前往现场！坚固的机身非常适合现场。防水防尘结构！防刮屏幕。
标准配备背光功能！防震且易于握持。操作直观。易于理解的指示器！9个按钮操作简单！单手即可轻松操作！配有电极支架。配备支架。
规格
电源 2节AA碱性电池（也可使用镍氢充电电池）
能量消耗 电池电压3V 5mA以下（待机）
展示 带背光的单色定制液晶显示屏
温度 测量方法：热敏电阻法。测量/显示范围：-30.0~130.0°C/-22.0~266.0°F。
显示分辨率：0.1℃/°F。准确度（仪器重复性）：±0.5°C/±0.9°F。
功能 稳定性判断功能：自动保持、自动稳定、瞬时值
防尘防水性能相当于IP67
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PH计 pH-33B / 9625-10D / pH-11B / pH-22B
一款紧凑型 pH 计，只需一滴 (0.1mL ~) 样品即可对酸度和碱度进行数值测量。
虽然它很小，但它采用了与实验室使用相同的玻璃电极和温度补偿功能。
LAQUAtwin独特的平面传感器只需掉落即可进行测量，因此不需要烧杯，也可以直接放置在河流等中并舀出进行测量。
规格
目的热带鱼养殖水体、河流、湖泊、温泉、废水、土壤、发酵、酿造、化学、医药、学校教育等。
测量范围pH0～14 质量（克）约50个（不含电池）
工作温度范围（℃）5～40 外形尺寸（毫米）164×29×20（不含突出部分）
电源2 节纽扣型锂电池 3V (CR2032)
测量项目酸碱度
显示方式定制（单色）数字液晶显示屏
工作湿度范围相对湿度85%以下（无凝露）
电池寿命（小时）连续使用约400次（背光关闭时）
测量原理 玻璃电极法
样品体积（毫升）0.1以上
主要成分ABS树脂
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.光掩模(Reticle/Mask)颗粒探测系统 PR-PD2
概要
PR-PD2是通过激光散射方式对曝光工艺中光掩模上的细小颗粒进行检测的装置。可检测光掩模图案面(Pattern Surface)上的最小粒径为0.35µm。并且通过线＆空间1.0¿1.5µm的图案识别功能，可以把检测误差抑制在最低限度。
特点
0.35µm的检测灵敏度，90%的检测率。
操作灵活的菜单便于使用。
最多可直接从多级分类器内的光掩模盒中装载10片光掩模。
可直接观察玻璃(Glass)面和图案(Pattern)面。
便利的数据管理便于制做报告。
新信号处理方式有利于减少检测错误。
光掩模(Reticle/Mask)颗粒探测系统
PR-PD2
规格 测量原理
偏振激光散射方式
监测对象
带表膜(Pellicle)或者没有表膜的光掩模
检测器
光电子倍增器
光源
氩激光488 nm, 10 mW
可测最小粒径
图案(Pattern)面：0.35µm
玻璃(Glass)面：5.0µm
表膜(Pellicle)面：10.0µm
检测率
0.35µm微粒子 标准模式：90% 5-监测整合模式：93%以上)
检测范围
5英寸：最大 105x110
6英寸：最大 127x139 mm
7英寸：最大 160x160 mm
带有表膜的时候：自表膜边框内侧开始4mm以内
装置重量
约1000Kg
装置外寸
1710 (W) x 1540 (H) x 1400* (D) mm
*最大宽度包括状态指示灯和输送管道
电源容量
AC200/220/230/240±10V、4 KVA 50/60Hz
外形尺寸图
光掩模(Reticle/Mask)颗粒探测系统
PR-PD2
使用环境
图案表面上的污染物的最小可测粒径为0.35µm。
通过光掩模宽度1.5µm、线间1.5µm的图案判别功能，可以把检测误差抑制在最小限度内。
应用
在下列工艺中，可以用于细微异物的检测中。
光掩模制造工艺
1)光掩模坯件上的异物检测
2)EB中描画¿清洗后的图案/玻璃面的异物检测
3)表膜粘贴后的图案/玻璃/表膜各面的异物检测
4)粘贴前表膜单体的异物检测(可选件功能)
曝光工艺
1)光掩模的接收检査(入库检查)
2)曝光前的光掩模例行程序的异物检测(工艺管理)
3)光掩模的定期异物检测(工艺管理)
优点
在图案面，0.35µm的异物检测灵敏度
高速过量地检测图案/玻璃/表膜各面
带有上下面异物观察功能(观察倍率多级切换)
可应用于各种缩小投影型曝光装置盒(适用于多级曝光装置盒：最大可达到10级)
各种各样的检査条件设定功能和简便的检测操作
内置数据管理功能，可以输出各种各样的报告。
支持GEM通信功能(顾客要求的功能 可选件)
高可靠性、低运营成本
光掩模(Reticle/Mask)颗粒探测系统
PR-PD2
技术资料
适用于300mm 和LSI系统制造，在提高产能方面能发挥很大威力的光掩模(Reticle/Mask)颗粒探测系统
本装置可以高灵敏度地检测曝光用光掩模上的异物，可以高精度地确定其位置，以图像形式显示出来。本装置由于采用氩激光散射方式，所以能够以90%以上检测率检测最小0.35µm粒径的异物。并且，还完善了可适用于各种掩模盒的多级分类器以及各种通信功能等，是可以适用于所有半导体制造线的构成产品。
测量原理
在本装置中，以激光散乱光方式作为异物的检测原理。激光光如果照射到异物上，就会发生散乱，通过对这种散乱强度进行检测，就可以检测出异物。利用电流镜对整个检査面扫描激光光，检测散乱光的强度。激光光也可随着标线片以及掩模上的图案而发生散乱，但是在异物和图案中，散乱光的偏光特性不一样，所以可在光学系统中插入偏光元件，对二者进行辨别。
此外，我们注意到在异物和图案中信号存在差别，利用独自开发出来的低频滤光器提高了辨别效率。而且，由于光的波长越短则散乱强度将会越强，所以在本装置中，采用了氩激光(488nm)，以谋求实现高灵敏度化。通过这些革新技术改良，以前由于会导致误测而被视作困难的相移掩模(半色调掩模)以及OPC掩模的异物检査也成为了可能。
优点
■可检测0.35µm的异物
由于采用了激光散射方式和氩激光，可检测最小0.35µm的异物。
■高的稳定性
在一定周期内通过参考检测对光源的变动影响进行补偿，可以长时间进行稳定的检测。
■高的辨别率
通过低通滤光器，大幅地提高异物/图案的辨别率，也可以检查相移掩模(半色调掩模)、OPC 掩模等。
■多级分类器的应对
具有可以适用于各种掩模盒的构造，最大可以应对10级的多级分类器。
■通信功能的完善
通信系统采用MicrosoftWindowsNT，提高操作性的同时，主机通信支持SECS和GEM。
■当场观察
可以通过显微镜对异物进行光学观察，当场察看异物性状。
低通滤光器识别原理
(a)源信号 (b)低通滤光器特性 (c)差分输出
低通滤光器的效果
＜测试图案＞ (a) (b) (c)
＜输出信号＞ (a) (b) (c)
主要规格 检査对象
有(无)表膜光掩模(reticle/mask)
基板尺寸
5、6、7英寸(9英寸为可选件)、厚度：2.3¿6.3mm
检测能力
图案面0.35µm(检测率90%以上)
玻璃面5.0µm(检测率90%以上)
表膜面10.0µm(检测率90%以上)
检査时间
约13分钟(4面检査)
显微镜观察
图案面(约220倍、约440倍、约1100倍可切换)
玻璃面(约440倍固定)
外形尺寸
1710mm (W)×1260mm(D)×1540mm(H)
设置面积
2710mm(W)×2195mm(D)
Reticle的4面检査结果
(PR-pd2 (美国市场)堀场制作所 半导体系统企划开发部)
(PR-PD2 (日本市场)日立制作所电子设备制造系统推进总部装置第一部)
历史发展
1945-1960年代为研发型公司奠定基础
1945 年 10 月成立“堀场无线研究所”
1950年3月完成国内第一台玻璃电极pH计的国产化。
1953年1月成立“株式会社堀场”
1957年开始销售红外线气体分析仪“GA型”
1957年红外气体分析技术的兴起
1959 年 11 月与日立建立业务和技术联盟。
1964年在测量工业展览会（大阪）上展示汽车尾气测量设备作为参考。全球汽车尾气品牌“MEXA”诞生
1964年开始生产用于空气污染监测的二氧化碳测量仪“APPA-1”。
1969年介绍 HORIBA 历史上的热门产品 MEXA-200 CO 测量仪
1970年与美国 Olson Laboratories, Inc. 合并成立 Olson Horiba。全面启动海外扩张
1971 年 3 月在大阪证券交易所和京都证券交易所上市。
1972年在美国、德国设立子公司
1974年确立标准技术（现HORIBA STEC）
1975年向美国EPA（环境保护局）交付汽车尾气测量系统。“MEXA”成为全球标准
1975年成立Kos（现为“Horiba Advanced Techno”）
1976年能量色散X射线分析仪的研制
1978年确立了“有趣、有趣”的公司座右铭
1978年成立专门从事员工福利的公司“Horiba Community”。
1980年标准科技推出质量流量控制器。进军半导体领域
1982年HORIBA产品陈列室“分析中心”开业。更贴近客户
1982年9月在东京和大阪证券交易所第一部上市。
1984年开始生产光罩异物检查设备。全面进军半导体领域
1985年4月在新加坡设立销售办事处
1986年4月首家为部分企业实行三天工作制的上市公司
1987年成功开发世界第一台平板传感器卡式pH计“CARDI”
1987年3月与法国专门生产血细胞计数器的制造商ABX合作。医疗事业如火如荼
1987年10月与西德 Feuser AG 在汽车废气测量系统方面建立业务合作伙伴关系。
1988年开始建立“堀场身份”的ID活动。打造HORIBA品牌的第一步
1988年3月与美国Mydac就傅里叶变换红外分光光度计进行技术合作
1988年在奥地利成立“Horiba Austria”
1988年12月在韩国设立当地生产基地“Horiba Korea Co., Ltd.”。
20世纪90年代第二次创立和全球管理
2000年代“一家公司”集团团结一致，走向世界
2010年2月堀场敦荣获法国“荣誉军团勋章”。
2020年8月与岛津制作所合作开发并销售测量设备“LC Raman”
签订基本协议，开始合作开发和销售结合了岛津制作所的高性能液相色谱仪 (HPLC) 和堀场制作所的拉曼光谱仪的测量设备
